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随着仪器仪表工业的蓬勃发展，体积小巧、无油环保的微型真空泵得到越来越广泛的使用。微型真空泵的规格多样，选择微型真空泵时要明确微型泵的用途，根据不同的用途选择合适的泵是很重要的。

微型真空泵的基本原理:电机的圆周运动，通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压)，在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压(吸)入泵腔，再从排气口排出。按输出压力从大到小依次可选：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。当然还要参考流量指标等相关技术参数。

当要求微型真空泵既能抽气又能抽水时，可以选用PHW600B或WAA系列产品，原理是微型真空泵没有接触到水时，它就抽真空，形成真空后靠气压把水压上来，而后开始抽水。如果是用微型泵抽气，情况稍微复杂些，用于抽气的微型泵分为两类：气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，简而言之，气体采样泵只能带小负载（即：泵抽气端阻力不能太大），但价格便宜；严格意义上的微型真空泵可以带大负载（抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞），但价格稍贵。