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涡旋真空泵动涡旋盘结构的特点
2021-08-28 14:04

单面和双面为动涡旋盘上两面是否都有涡旋齿而言,动涡旋盘上只有一面有涡旋齿为单面涡旋泵,动涡旋盘上两面都有涡旋齿为双面涡旋泵。

与单面相比,双面涡旋泵有较高的抽速和自平衡轴向力的优点,但是由于很高的结构对称性要求,双面涡旋盘的加工制造比较困难。

在双面涡旋真空泵的结构中,动涡旋中心要安装两个轴承,轴承和真空室直接相连,即使使用动密封,也会造成返油现象,污染真空环境和影响极限真空度,要考虑轴承因真空引起的变形,使用真空轴承,轴承长期在真空条件下工作,会降低轴承的寿命。

双面涡旋真空泵中要求曲轴较长,增大了曲轴的加工制造难度和成本,如果曲轴稍有变形,就会在很大程度上影响侧向间隙,从而影响极限真空度,甚至出现碰齿现象。在单面涡旋真空泵中,轴承可与真空室隔开,清洁度和极限真空度提高;结构简单,动涡旋盘和静涡旋盘之间容易拆装,密封条的替换比较容易;曲轴较短,加工制造难度和成本降低。

由于曲轴没有穿过动、静涡旋盘,不能用一个电机带动静涡旋盘处的冷却风扇,需要另设电机带动冷却静涡旋盘的风扇。

动涡旋盘不能自平衡轴向力,主轴受力较复杂,振动较大,降低轴承寿命。

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