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耐腐蚀泵

产品名称:耐腐蚀泵

产品型号:SVF-20C

功率:功率≤150W

应用领域:旋转蒸发仪、真空干燥箱、离心浓缩、固相萃取、减压蒸馏、反应釜等

产品描述:耐有机溶剂及酸碱,具有较强的抗化学腐蚀性能

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型  号


SVF-E1-20C


SVF-E2-20C


SVF-E3M-20C






抽速


20L/min


20L/min


20L/min






极限真空度


≤10Pa


≤1Pa


≤0.5Pa






功率


≤180W


≤180W


≤180W






电机类型


无刷直流电机


无刷直流电机


无刷直流电机






电源


24VDC


24VDC


24VDC






电机比较大转速


4500RPM


4500RPM


4500RPM






水蒸汽处理能力


可抽除少量液态水


可抽除少量液态水


可抽除少量液态水





比较大进气压力

1.5bar(表压)


1.5bar(表压)


1.5bar(表压)





比较大排气压力

1bar(表压)


1bar(表压)


1bar(表压)






噪声(OEM)/ (外罩)


58dB(A)/ 54dB(A)


58dB(A)/ 54dB(A)


58dB(A)/ 54dB(A)






重量(OEM)/ (外罩)


2.3kg/3kg


2.3kg/3kg


2.3kg/3kg






尺寸(OEM)


197×183×144mm


197×183×144mm


197×183×144mm






尺寸(外罩)


289×164×165mm


289×164×165mm


289×164×165mm






进/出气口接头

G1/4"


G1/4"


G1/4"






冷却方式

风冷

风冷


风冷






工作环境温度


-20℃to40℃


-20℃to40℃


-20℃to40℃






在光伏领域应用优势:

1、满足光伏半导体扩散工艺的技术要求;

2、更低的维护频率及维护成本;

3、更稳定准确的工艺控制;

4、更高的能效比;

5、更小的体积。


产品特点:

1、耐腐蚀、耐高温

满足硼扩散、磷扩散等不同工艺过程的耐腐蚀需求;

本公司扩散泵可耐:磷酸、盐酸、氢溴酸等;

满足100℃以上气氛温度。


2、对水汽粉尘等杂质更高的容错性

径向和轴向的柔性设计,使水汽粉尘等杂质具有很高的通过率;

允许大颗粒通径尺寸为:0.1mm;

外置排气阀,便于维护。


3、稳定、精密的工艺控制

启动性能好,转速可在较大范围内调节,且效率变化不大,变转速特性好;

可调整转速范围:50-3,300rpm;

压力、流量等工艺参数控制更稳定;

真空压力可控范围:0.1mbar-1bar;流量可控范围:20-200slpm。


4、运行平稳、噪音低

较小的主轴回转半径,使得运动件受力变化小;

整机平均功率:300 W;

机器运行时振动和噪音更低;

整机平均噪音:54 dB(A)。


5、更轻、更小、更快

多级压缩腔工作,气体压差小,泄漏少,容积效率高;

 结构简单紧凑,重量轻,体积小;

更稳定的负压控制;

更快的抽速。

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